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[Furnace] RTA
  • 글쓴이 송해원
  • 작성일 2022-02-16 16:51:59
  • 조회수 110


  • 제작회사 : Korea Vacuum Tech (KVT)
  • 모델명 : KVRTP - T1540
  • 용도 : Rapid Thermal Annealing
  • 특징 :
    - Wafer size : 조각 시편
    - Process control : Manual process control
  • 담당자 : 심성근, 장윤호
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