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[Deposition] 이루자 6” wafer Sputter
  • 글쓴이 송해원
  • 작성일 2022-02-16 17:10:08
  • 조회수 172

  • 제작회사 : 이루자
  • 모델명 :
  • 용도 : Nitride, metal 박막 증착
  • 특징 :
    - Chamber 1
     RF power processing
     Al(Sc,Y)N 증착
    - Chamber 2
     RF and DC power processing
     Ti, Hf, Zr, W metal target
  • 담당자 : 류승규, 이인수
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