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[Deposition] ALD system for GeSbTe(Quros)
  • 글쓴이 권대선
  • 작성일 2016-03-29 10:32:04
  • 조회수 639




  • 제작회사 : Quros
  • 모델명 : PLUS200
  • 용도 : GeSbTe 증착 
  • 특징 :
    - 8 inch showerhead type chamber
    - Direct plsama system
    - Liquid delivery system, Bubbler type delivery system
  • 담당자 : 전정우, 최원호
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