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정시화, 조금석, 임지은, 황철성, 한영기, 양철흠, 양두영, 오기영 Ir 전극 기판을 사용한 LDS-MOCVD(Liquid Delivery System-MOCVD)의 저온 증착과 특성에 관한 연구 제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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임지은, 조금석, 정시화, 황철성, 김승현 sol-gel법을 이용한 Pb(Zr0.4, Ti0.6)O3 박막의 하부 Pt 전극과 상부 PtOx 전극에 따른 피로현상 제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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조금석, 임지은, 정시화, 황철성, 김승현 heat-treatment induced ferroelectric fatigue of Pt/Sr1-xBi2+yTa2O9/Pt thin-film capacitors 제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일 |
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Chang Young Koo, S-H. Kim, D-Y. Park, D-S Lee, H-J. Woo, J.Yang, J.Ha, C.S. Hwang Low temperature crystallized PZT thin films for high density FeRAM device
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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김성근, 권오성, 황철성 H2O 플라즈마를 이용한 단원자증착법에 의한 STO 박막의 증착
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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김지훈, 황철성 RF magneton sputtering 방법으로 Pt와 Ru 기판 위에 증착된 BST 박막의 전기적 특성의 차이에 관한 연구
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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박병건, 박재후, 조문주, 황철성 CVD 방법으로 증착된 HfO2 박막의 전기적 특성
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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조문주, 박재후, 박병건, 황철성 ALD방법으로 증착한 HfO2 박막에서의 Si 확산 문제에 대한 고찰
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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박재후, 박병건, 조문주, 황철성 CVD로 증착한 gate 절연막용 HfO2 박막의 열처리 특성 분석
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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Sang Yeol Kang, Ha Jin Lim, Cheol Seong Hwang Metallorganic chemical vapor deposition of Ru films using cyclopentadienyl-propylcyclopentadienlylruthenium(II) and oxygen
제3회 고유전체 및 강유전체 소자/재료 workshop, 서울대학교, 2001년 12월 17일
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