HOME > Publication > Conference

Conference


32

Á¤½ÃÈ­, Á¶±Ý¼®, ÀÓÁöÀº, Ȳö¼º, ÇÑ¿µ±â, ¾çöÈì, ¾çµÎ¿µ, ¿À±â¿µ

Ir Àü±Ø ±âÆÇÀ» »ç¿ëÇÑ LDS-MOCVD(Liquid Delivery System-MOCVD)ÀÇ Àú¿Â ÁõÂø°ú Ư¼º¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ

31

ÀÓÁöÀº, Á¶±Ý¼®, Á¤½ÃÈ­, Ȳö¼º, ±è½ÂÇö

sol-gel¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Pb(Zr0.4, Ti0.6)O3 ¹Ú¸·ÀÇ ÇϺΠPt Àü±Ø°ú »óºÎ PtOx Àü±Ø¿¡ µû¸¥ ÇÇ·ÎÇö»ó

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ

30

Á¶±Ý¼®, ÀÓÁöÀº, Á¤½ÃÈ­, Ȳö¼º, ±è½ÂÇö

heat-treatment induced ferroelectric fatigue of Pt/Sr1-xBi2+yTa2O9/Pt thin-film capacitors

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ

29

Chang Young Koo, S-H. Kim, D-Y. Park, D-S Lee, H-J. Woo, J.Yang, J.Ha, C.S. Hwang

Low temperature crystallized PZT thin films for high density FeRAM device

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ


28

±è¼º±Ù, ±Ç¿À¼º, Ȳö¼º

H2O ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ´Ü¿øÀÚÁõÂø¹ý¿¡ ÀÇÇÑ STO ¹Ú¸·ÀÇ ÁõÂø

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ


27

±èÁöÈÆ, Ȳö¼º

RF magneton sputtering ¹æ¹ýÀ¸·Î Pt¿Í Ru ±âÆÇ À§¿¡ ÁõÂøµÈ BST ¹Ú¸·ÀÇ Àü±âÀû Ư¼ºÀÇ Â÷ÀÌ¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ


26

¹Úº´°Ç, ¹ÚÀçÈÄ, Á¶¹®ÁÖ, Ȳö¼º

CVD ¹æ¹ýÀ¸·Î ÁõÂøµÈ HfO2 ¹Ú¸·ÀÇ Àü±âÀû Ư¼º

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ


25

Á¶¹®ÁÖ, ¹ÚÀçÈÄ, ¹Úº´°Ç, Ȳö¼º

ALD¹æ¹ýÀ¸·Î ÁõÂøÇÑ HfO2 ¹Ú¸·¿¡¼­ÀÇ Si È®»ê ¹®Á¦¿¡ ´ëÇÑ °íÂû

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ


24

¹ÚÀçÈÄ, ¹Úº´°Ç, Á¶¹®ÁÖ, Ȳö¼º

CVD·Î ÁõÂøÇÑ gate Àý¿¬¸·¿ë HfO2 ¹Ú¸·ÀÇ ¿­Ã³¸® Ư¼º ºÐ¼®

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ


23

Sang Yeol Kang, Ha Jin Lim, Cheol Seong Hwang

Metallorganic chemical vapor deposition of Ru films using cyclopentadienyl-propylcyclopentadienlylruthenium(II) and oxygen

Á¦3ȸ °íÀ¯Àüü ¹× °­À¯Àüü ¼ÒÀÚ/Àç·á workshop, ¼­¿ï´ëÇб³, 2001³â 12¿ù 17ÀÏ