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조문주, 박재후, 박병건, 황철성, 현광수, 정재학, 박철수 ALD 방법으로 증착한 HfO2 박막의 성장 기구와 전기적 성질에 관한 고찰 한국재료학회 추계학술발표,고려대학교, 2001년 11월 2일
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김지훈, 황철성 고주파 스퍼터링 방법으로 증착한 (Ba,Sr)TiOxNy 박막의 특성 분석 한국재료학회, 공주대학교, 2001년 5월 19일, Poster
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정시화, 김혜령, 조금석, 임지은, 황철성, 양두영, 오기영 액체수송 유기금속 화학증착법(LDS-MOCVD)에 의한 Pb(ZrxTi1-x)O3 박막의 저온 (450-500℃) 증착 및 특성분석 한국재료학회, 공주대학교, 2001년 5월 19일, Poster
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박재후, 박병건, 조문주, 황철성, 한영기, 양두영, 오기영, 황철주 Gate 박막용 HFO2 박막의 증착과 분석 한국재료학회, 공주대학교, 2001년 5월 19일, Poster
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Sang Yeol Kang, Cheol Seong Hwang, Hyeong Joon Kim Deposition of Ru thin films by MOCVD using direct liquid injection system MRS Spring Meeting, San Francisco, USA, April 17 (2001)
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Young Ki Han, Cheol-Hoon Yang, Dong-Hyun Kim, Geun-Jo Han, Ki-Young Oh, Ju Ho Song,Jaehoo Park Preparation and characterization of (Ba,Sr)TiO3 thin films by liquid source chemical vapor deposition MRS Spring Meeting, San Francisco, USA, April 20 (2001)
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S-H. Kim, H-J. Woo, D-Y. Park, D-S. Lee, J. Ha and C.S. Hwang Electrode structures for reliable Pb(ZrxTi1-x)O3 ferroelectric thin film devices 13th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, Colorado Springs, USA, March 11-14 (2001), Poster |
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S-H. Kim, H-J. Woo, D-Y. Park, D-S. Lee, J. Ha and C.S. Hwang Low voltage switching in Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films 13th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, Colorado Springs, USA, March 11-14 (2001)
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S. Jeong, H.R. Kim, and C.S. Hwang Low temperature deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films by LDS metal-organic chemical vapor deposition 13th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, Colorado Springs, USA, March 11-14 2001, Poster
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C.S. Hwang, and J-H. Park Compositional variation of metal-organic chemical vapor deposited SrTiO3 thin films along the capacitor hole having a diameter of 0.15 μm 13th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, Colorado Springs, USA, March 11-14 (2001)
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