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[Furnace] New Rapid Thermal Process
  • 글쓴이 송해원
  • 작성일 2022-07-19 15:06:18
  • 조회수 92


제작회사 : ULTECH

모델명 : Real RTP 100

사용 용도 : Rapid thermal annealing

특징 :

-Wafer size : 4 inch
-Temperature.max ≤ 1100℃
-Fast cooling system

담당자 : 임준일, 이인수
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