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[Deposition] ALD system for BeO, MgO
  • 글쓴이 송해원
  • 작성일 2022-02-16 16:45:50
  • 조회수 127


  • 제작회사 : CN1
  • 모델명 : Atomic Premium
  • 용도 : MgO, BeO 증착
  • 특징 :
    - 6 inch shower head type chamber
    - Direct plasma system
    - Bubbler type system
    - Ozone Generator
  • 담당자 : 왕보웬, 송해원
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