HOME > Research > Facility

Facility

[Deposition] ALD system for TiO2, ZrO2, Al2O3, Y2O3 deposition
  • 글쓴이 권대선
  • 작성일 2016-03-29 10:38:43
  • 조회수 855




  • 제작회사 : Evertek
  • 모델명 : PLUS100
  • 용도 : TiO2, ZrO2, Al2O3, Y2O3 증착
  • 특징 :
    - Thermal ALD system
    - 4 inch traveling wave type chamber
    - Ozone Generator
  • 담당자 : 서행하, 신종훈
    		•
    목록





    이전글 ALD system for SrTiO3
    다음글 ALD system for BeO, MgO