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[Deposition] Sputter system
  • 글쓴이 권대선
  • 작성일 2016-03-25 17:51:32
  • 조회수 592





  • 제작회사 : SN tek
  • 모델명 : CDS 5000
  • 용도 : Chamber1(metal 전극 증착용), Chamber2(Ferroelectric 박막 증착용)
  • 특징 :
  • Chamber1
    -High-K metal gate 증착
    -TiN, Pt, Ru 등
  • 담당자 : 신종훈, 심두섭, 서행하

  • Chamber2
    -ferroelectric 박막 증착용
    -PZT,BFO,BMFO 
  • 담당자 : 김범용, 이인수
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