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Yong Cheol Shin, Kyung-Min Kim, Byung Joon Choi, Seol Choi, and Cheol Seong Hwang Analysis of Resistive Switching of TiO2 focused on Current Compliance Using Conductive Atomic Force Microscopy 제 14회 한국반도체학술대회, 롯데호텔 제주, February 8-9 (2007) |
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이근, 이현주, 황철성 Influence of In-situ Surface Treatment of Ir Electrode before MOCVD-PZT Film Growth on the Self-Regulation Process Window 제 14회 한국반도체학술대회, 롯데호텔 제주, February 8-9 (2007) |
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이현주, 김성근, 이근, 황철성 Influence of Al2O3 Hydrogen Barrier on the Ferroelectric Switching Behavior of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film Capacitor 제 14회 한국반도체학술대회, 롯데호텔 제주, February 8-9 (2007) |
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서민하, 김성근, 박태주, 김정환, 황철성 Hf([N(CH3)(C2H5)]3[OC(CH3)3]) 전구체와 O3산화제를 이용하여 ALD방법으로 증착한 HfO2 유전 박막의 물리적, 전기적 특성 및 열적 안정성 연구 제 14회 한국반도체학술대회, 롯데호텔 제주, February 8-9 (2007) |
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김정환, 박태주, 조문주, 서민하, 황철성, 원정연 원자층증착법에 의한 HfO2 박막 증착 시 NH3 첨가에 따른 박막의 신뢰성 개선 제 14회 한국반도체학술대회, 롯데호텔 제주, February 8-9 (2007) |
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