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Oh Seong Kwon, Seong Keun Kim, Cheol Seong Hwang Atomic-Layer-Deposition of SrTiO3 Thin Films Using Remote-Plasma Activated H2O as an Oxidant MRS 2002 fall meeting, Boston, Ma, USA, Dec 2 (2002)
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Hong Bae Park, Moonju Cho, Jaehoo Park, Cheol Seong Hwang Thermal Stability of Atomic-Layer-Deposited Thin Films on the SiN-Passivated Si Substrate MRS 2002 fall meeting, Boston, Ma, USA, Dec 2 (2002)
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Seong Keun Kim, Oh Seong Kwon, Cheol Seong Hwang Electrical Characterization of Atomic-layer Deposited SrTiO3 Thin Films for CMOS Application MRS 2002 fall meeting, Boston, Ma, USA, Dec 2 (2002)
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Jin Shi-Zhao, Seehwa Jeong and Cheol Seong Hwang Metal-organic Chemical Vapor Deposition of PZT Thin Films with Different Precursor Solution for Mass-Production Compatibility MRS 2002 fall meeting, Boston, Ma, USA, Dec 2 (2002)
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Cheol Seong Hwang, and Jin Shi-Zhao Low temperature MOCVD of PZT thin films for FeRAM applications MRS 2002 fall meeting, Boston, Ma, USA, Dec 2 (2002)
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박우영, 안건호, 황철성 On-axis와 off-axis 방식 rf 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 (Ba, Sr)TiO3 축전박막에서의 전기적 물성에 대한 스트레스 영향 한국재료학회, 대전 배제대, 2002년 11월 1일
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조문주, 박홍배, 박재후, 황철성 Hf[(CH3)2]4 precusor를 이용한 HfO2 박막의 성장기구와 전기적 성질에 관한 고찰 한국재료학회, 대전 배제대, 2002년 11월 1일
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박재후, 조문주, 박홍배, 황철성 Hf(MMP)4 원료 물질을 이용해서 증착한 MOCVD HfO2 박막의 특성 분석 한국재료학회, 대전 배제대, 2002년 11월 1일
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권오성, 김성근, 황철성, 정재학, 현광수 H2O plasma를 이용한 SrTiO3 Atomic Layer Deposition 한국재료학회, 대전 배제대, 2002년 11월 1일
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임지은, 박동연, 정재경, 안건호, 김형준, 황철성 Sol-gel 법으로 증착된 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 강유전 특성에 미치는 Pt 하부전극 두께 영 한국재료학회, 대전 배제대, 2002년 11월 1일
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