HOME > Research > Facility

Facility

[Deposition] ALD system for SrTiO3
  • 글쓴이 권대선
  • 작성일 2016-03-29 10:37:25
  • 조회수 3288




  • 제작회사 : CN-1
  • 모델명 : Atomic Classic
  • 용도 : 원자층 증착 기법 (Atomic layer depositon)을 이용한 SrO, TiO2, STO, BSTO 등 산화물 박막 증착 
  • 특징 :
    - Thermal ALD system
    - 4 inch traveling wave type chamber
    - SrO, TiO2, SrTiO3, BaO, BSTO, GeO2
    - Ozone Generator
    - Vacuum equipment using Dry pump(QDP80) 
  • 담당자 : 백희원, 권대선
    		•
    목록





    이전글 ALD system for ZnSnO
    다음글 ALD system for TiO2, ZrO2, Al2O3, Y2O3 deposition