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[Deposition] ALD system for Ru & RuO2
  • 글쓴이 권대선
  • 작성일 2016-03-29 10:35:25
  • 조회수 984



  • 제작회사 : Quros
  • 모델명 : PLUS200
  • 용도 : Ru, RuO2 증착
  • 특징 :
    - 8 inch shower head type chamber
    - Direct plasma system
    - Liquid delivery system, Bubbler type system
    - Vacuum equipment using Dry pump(QDP80) & Rotary pump(Edward40)
  • 담당자 : 임준일, 권대선
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