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[Deposition] Sputter system for IGZO, ZnO & ZTO
  • 글쓴이 권대선
  • 작성일 2016-03-28 17:10:27
  • 조회수 675



  • 제작회사 : Sorona Inc
  • 모델명 : SRN-120
  • 용도 : 박막증착
  • 특징 :
    -Max 4 different targets
    -standard 4", 6" substrate
    -RF and DC power processing
    -available co-sputtering and multi-layer processing
  • 담당자 : 이용희, 이선진
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