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[Deposition] ALD system for NiO, TiO2
  • 글쓴이 권대선
  • 작성일 2016-03-25 17:52:54
  • 조회수 618



  • 제작회사 : CN1
  • 모델명 : Atomic Premium (plus 200)
  • 용도 : 저항변화 특성에 최적화된 전이금속 산화물 박막증착
  • 특징 :
    - 8 inch shower head type chamber
    - Direct plasma system
    - Bubbler type system
    - Vacuum equipment using Dry pump(iQDP80) & Rotary pump(W2V80)
  • 담당자 : 김현영, 박형준
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