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권태홍 박사, 제 24회 한국반도체학술대회 최우수논문상 수상
  • 글쓴이 유찬영
  • 작성일 2018-02-08 16:39:12
  • 조회수 723

서울대학교 공과대학 재료공학부 권태홍 박사(지도교수 황철성)은 지난 2017년 2월 13일(월)부터 15일(수)까지 강원도 대명 비발디파크에서 개최된 제 24회 한국반도체학술대회(KCS 2017)에서 최우수논문상을 수상하였다. 본 상의 시상은 올해 열린 제 25회 한국반도체학술대회에서 진행되었다.


본 발표에서는 GeTe의 ALD 증착과 이에 대한 메커니즘을 다뤘다.

[WA3-D-4] Mechanism study on the atomic Layer Deposition of GeTe Films Using Ge{N[Si(CH3)3]2}2, {(CH3)3Si}2Te, and Methanol



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