¹Ú¹ÎÇõ ¹Ú»ç´ÔÀÇ Advanced MaterialsÁöÀÇ Progress Report ³í¹®ÀÌ °ø´ë´º½º±¤Àå¿¡ ¼Ò°³µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¾Æ·¡´Â °ø´ë´º½º±¤Àå¿¡ ¼Ò°³µÈ ³»¿ë°ú °ü·Ã±ÛÀÇ ÀÎÅͳÝÁÖ¼ÒÀÔ´Ï´Ù. "¼¿ï´ë °ø´ë´Â Àç·á°øÇкΠȲö¼º ±³¼öÀÇ Çѱ¹-µ¶ÀÏ °øµ¿ ¿¬±¸ÆÀÀÌ »êÈ ÇÏÇÁ´½ ±â¹ÝÀÇ ½Å±Ô °À¯Àüü ¹× ¹Ý°À¯Àüü ¹°Áú¿¡ ´ëÇÑ ÃÖ±Ù ¿¬±¸¸¦ Áý´ë¼ºÇÑ ¸®ºä ³í¹®À» ¹ßÇ¥Çß´Ù°í 30ÀÏ ¹àÇû´Ù. ¼¿ï´ë Ȳö¼º ±³¼ö°¡ ±³½Å ÀúÀÚ·Î, ¹Ú¹ÎÇõ ¹Ú»ç°¡ Á¦ 1ÀúÀÚ·Î Âü¿©ÇÑ À̹ø ¿¬±¸´Â ¹Ì·¡Ã¢Á¶°úÇÐºÎ¿Í Çѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀÌ ÃßÁøÇÏ´Â ±Û·Î¹ú¿¬±¸½Ç»ç¾÷°ú Áß°ß¿¬±¸ÀÚÁö¿ø»ç¾÷ µîÀÇ Áö¿øÀ¸·Î ¼öÇàµÆ´Ù. À¯¸ÁÇÑ ½Å¼ÒÀç·Î ¼Õ²ÅÈ÷´Â »êÈ ÇÏÇÁ´½ ±â¹ÝÀÇ ¹°ÁúÀº 10nm ÀÌÇÏ µÎ²²ÀÇ Ãʹڸ·¿¡¼µµ ¿ì¼öÇÑ °À¯Àü¼º ¹× ¹Ý°À¯Àü¼ºÀ» ³ªÅ¸³½´Ù. °À¯Àüü¶õ Àü°è¸¦ °¡ÇÏÁö ¾ÊÀº »óÅ¿¡¼ µÎ °¡ÁöÀÇ ÀÚ¹ßÀû ºÐ±Ø »óŸ¦ °¡Áú ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ» ĪÇϸç, ¹Ý°À¯Àüü¶õ Àü°è¸¦ °¡ÇÏÁö ¾ÊÀº »óÅ¿¡¼ ÀÚ¹ßÀû ºÐ±Ø »óÅ°¡ ¾øÁö¸¸ Àü°è¸¦ °¡ÇßÀ» ¶§ °À¯Àüü¿Í °°Àº Ư¼ºÀ» º¸ÀÌ´Â ¹°ÁúÀ» ¶æÇÑ´Ù. »êÈ ÇÏÇÁ´½ ±â¹ÝÀÇ ¹°ÁúÀº ¹ÝµµÃ¼ ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß¿¡¼ ¾ç»êµÉ Á¤µµ·Î °øÁ¤ÀûÀÎ ¼º¼÷µµ°¡ ³ô°í, ÁúÈ Å¸ÀÌŸ´½°ú °°Àº Àü±Ø ¹°Áú°ú È°¿ëµÉ ¼ö ÀÖ¾î ¸Å¿ì »ê¾÷Ä£ÈÀûÀÎ °Á¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ¸Þ¸ð¸®¿Í ¿¡³ÊÁö ÇϺ£½ºÆÃ, ¿¡³ÊÁö ÀúÀå, °íü»óÅ ³Ã°¢, Àû¿Ü¼± ¼¾¼ µî ¿©·¯ ºÐ¾ß¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ Æ¯¼ºÀ» º¸¿© ¿ì¸®³ª¶ó¸¦ ºñ·ÔÇØ µ¶ÀÏ, ¹Ì±¹, ÀϺ», Áß±¹ µî¿¡¼ ¿¬±¸µÇ°í ÀÖÀ¸³ª, ü°èÀûÀÎ ÀÌ·Ð Á¤¸®°¡ ºÎÁ·Çß´Ù. Ȳ ±³¼ö´Â ¡°´ëºÎºÐÀÇ °À¯Àüü¿Í ¹Ý°À¯ÀüüÀÇ °æ¿ì Æä·Îºê½ºÄ«ÀÌÆ® ±¸Á¶¸¦ °®´Â »êȹ°À̳ª °íºÐÀÚ ºÐ¾ßÀÇ ¿¬±¸¿¡ ÁýÁߵŠÀÖ´Â °Ô Çö½Ç¡±À̶ó¸ç, ¡°¿ì¼öÇÑ Æ¯¼ºÀ» °¡Áø »êÈ ÇÏÇÁ´½ ±â¹Ý ¹°ÁúÀÇ ¹°¸®Àû ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ̳ª ÀÀ¿ë¿¡ ´ëÇÑ Ã¼°èÀûÀÎ ¿¬±¸°¡ ½Ã±ÞÇß´Ù¡±°í ¿¬±¸ ÃëÁö¸¦ ¹àÇû´Ù. Ȳ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº »êÈ ÇÏÇÁ´½ ½Å¼ÒÀç¿¡¼ °À¯Àü¼ºÀÌ ¹ßÇöµÇ´Â ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ» Á¦¾ÈÇÏ¿´À¸¸ç, ¹Ý°À¯Àü¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¿¡³ÊÁö ÇϺ£½ºÆà ¹× ÀúÀå, °íü»óÅ ³Ã°¢, Àû¿Ü¼± ¼¾¼ µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë¿¡ ¸Å¿ì À¯¸ÁÇÑ Æ¯¼ºÀ» º¸ÀÌ´Â °ÍÀ» ÃÖÃÊ·Î º¸°íÇÏ¸ç »êÈ ÇÏÇÁ´½ ½Å¼ÒÀçÀÇ ¿¬±¸ ºÐ¾ß¸¦ ¼±µµÇÏ´Â ¿¬±¸¸¦ À̲ø¾ú´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¿¬±¸´Â ¼¼°èÀûÀ¸·Îµµ ¿ì¼ö¼ºÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ÈÇС¤Àç·á¡¤³ª³ë ºÐ¾ß ÃÖ°í ±ÇÀ§ÀÇ ÇмúÁöÀÎ ¾îµå¹ê½ºµå ¸ÓÅ׸®¾ó½º¿¡ ³í¹®ÀÌ °ÔÀçµÆ´Ù. ƯÈ÷ ¼±µµ ¿¬±¸±×·ìÀÇ °úÇÐÀڵ鸸ÀÌ ÀÛ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼º°ú º¸°í ³í¹®À¸·Î °ÔÀçµÅ ´õ¿í Å« ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù. Çа迡¼´Â ÀÌ ³í¹®À» ÅëÇØ ±× µ¿¾È ¹ßÇ¥µÈ ¿©·¯ ¿¬±¸±×·ì¿¡¼ÀÇ »êÈ ÇÏÇÁ´½ ±â¹ÝÀÇ Ãʹڸ·¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°¡ ü°èÀûÀ¸·Î Á¤¸®µÆÀ¸¸ç, °³º°ÀûÀÎ ¿¬±¸µéÀ» Á¾ÇÕÀûÀ¸·Î ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¹ÝÀÌ ¸¶·ÃµÆ´Ù´Â ÆòÀ» ÀüÇÏ°í ÀÖ´Ù. Ȳ ±³¼ö´Â ¡°Àü ¼¼°è¿¡¼ ¼ö³â°£ ÁøÇàµÈ »êÈ ÇÏÇÁ´½ ±â¹ÝÀÇ Ãʹڸ·¿¡¼ ³ªÅ¸³ª´Â °À¯Àü¼º ¹× ¹Ý°À¯Àü¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸¸¦ Áý´ë¼ºÇÏ°í ÇâÈÄ ¿¬±¸ ¹æÇâÀ» Á¦½ÃÇÑ µ¥ ÀÇÀÇ°¡ ÀÖ´Ù¡±¸ç, ¡°À̹ø ¿¬±¸·Î ¾à 28nm ¼±ÆøÀÇ °À¯Àü¼º Àü°è È¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ ¹× 3Â÷¿ø Ä¿ÆнÃÅÍ ±¸Á¶¿¡ ´ëÇÑ ÀÀ¿ëÀÌ °¡´ÉÇØÁ³À¸¸ç, ½ÇÁ¦ ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛ°ú »ó¿ëȸ¦ À§ÇÑ ¸Þ¸ð¸® ¼ÒÀÚÀÇ ½Å·Ú¼º Çâ»ó ¿¬±¸ µî¿¡ Å« ¹æÇâÀ» Á¦½ÃÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù." http://eng.snu.ac.kr/bbs/news_view.php?code_value=SN010401&bbsid=news&bbsidx=7065
|
|